製品紹介

豊富なラインナップでお客様の悩みを解決いたします。
私たちは真空紫外 (VUV)から赤外 (IR) までのあらゆる測定波長にあったエリプソメーターをご提供いたします。また、自動サンプルステージ・温度可変 (昇温や冷却)・集光光学系・溶液セルなど、さまざまなオプションをご用意しております。

測定波長範囲

下限 【nm】
上限 【nm】
※双方を選択することでフィルタが有効になります。

M-2000

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様々なオプションや波長範囲(最大193から1690nm)の組み合わせが可能な回転補償子型分光エリプソメーター

RC2

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ミューラー行列全16要素を測定し、様々なオプションや波長範囲(最大193から2500nm)の組み合わせが可能な二重回転補償子型分光エリプソメーター

iSE

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リアルタイムモニタリング用に開発されたinsitu用分光エリプソメーター

alpha-SE

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シンプルな構成でリーズナブルな簡易分光エリプソメーター

VASE

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最大193から4000 nmの広い波長範囲をカバーする分光エリプソメーター

IR-VASE

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2から30μmの広い波長範囲をカバーする赤外分光エリプソメーター

VUV-VASE

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最大146から2500nmまでの波長範囲をカバーする真空紫外域分光エリプソメーター 248 nm、193 nm、157 nmのリソグラフィ用途に最適

測定サービス

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技術評価や機種選定はもちろんのこと、ご予算が取れないお客様に向けて導入までのつなぎとしてサンプルの測定サービスを提供しております。

お気軽にお問い合わせください。

03-3220-5871

受付時間:9:00 - 17:30 [土日・祝日除く]

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