theta-SE®(マッピング用小型高速分光エリプソメーター)

theta-SEは薄膜の均一性をワンタッチで評価することが可能な分光エリプソメーターです。リーズナブルな価格とコンパクトなパッケージでありながら高度なエリプソメトリー測定を提供します。

theta-SEの特徴

すべてが統合されたデザイン

theta-SEは300mmマッピングステージと微小測定スポットサイズ、高速サンプルアライメント、カメラ、そして最新の二重回転光学素子型技術を備えており、薄膜の膜厚と光学特性の均一性を評価するために必要な要素がすべて揃っています。

高速測定

測定ポイント間のステージの高速移動、高速サンプルアライメント、二重回転光学素子型技術によりスループットを最適化しています。

コンパクト

特許出願中のデュアルシータ回転ステージは小型の卓上機でありながら300mmのマッピング測定を可能にします。装置の設置面積は300mmウエハよりわずかに大きいだけです。

使いやすさ

自動データ解析および自動レポート作成機能によりワンタッチで測定と結果への迅速なアクセスを可能にします。

低価格

theta-SEはリーズナブルな価格で分光エリプソメトリー測定と300mmのマッピング測定を提供します。

theta-SEには薄膜のマッピング測定を提供するために分光エリプソメトリーの最新技術が数多く組み合わされています。分光エリプソメトリーは薄膜の膜厚および光学定数の評価に最適な技術であり、theta-SEではそういった薄膜の特性をウエハ全体でのスキャンが可能です。

Mapping data: Index of Nitride-Rich Silicon Nitride on Silicon.

Thickness of Resist on Silicon

Mapping data: Thickness of Silicon Dioxide.

Mapping data: Thickness of Carbon Film of silicon.

高速で広いスペクトルの測定

theta-SEには薄膜のマッピング測定を提供するために分光エリプソメトリーの最新技術が数多く組み合わされています。分光エリプソメトリーは薄膜の膜厚および光学定数の評価に最適な技術であり、theta-SEではそういった薄膜の特性をウエハ全体での走査測定が可能です。

高感度:

分光エリプソメトリー測定は組成比、導電性、表面状態などの様々な特性に感度を有しています。加えて、0.1nm以下の膜厚変化にも感度があります。theta-SEは分光エリプソメトリー測定の高い感度と高速マッピング機能を組み合わせることにより非破壊・非接触でのサンプル評価を可能にします。

高精度:

分光エリプソメトリー測定はサンプルを反射した偏光の変化を測定します。偏光の変化とは基本的にΨ(プサイ)とΔ(デルタ)という2つの値で記述されます。分光エリプソメトリーはこの2つの値を各測定波長で測定することに加えて、自己参照の技術であるため優れた測定精度を提供することができます。

デュアルシータマッピング:

特許出願中のマッピングステージにより小型の卓上機で直径300mmまでのサンプルを測定ができます。

集光スポット:

集光ビームと回転ステージによりエッジ近傍の測定を可能にします。

高速カメラアライメント:

カメラアライメントでは画像認識・画像処理技術を用いることにより従来のアライメント技術と比較してわずかな時間でのアライメントを可能にします。それに加えて、カメラによる測定領域の視覚情報も提供します。

theta-SE fast Z Camera alignment

特許取得済のカメラベースアライメント

二重回転光学素子型技術:

測定ポイント間のステージ移動時間の短縮、カメラによる高速アライメント、従来方式の半分の時間で高精度な測定を可能にする二重回転光学素子型技術を用いることで多点マッピング測定の測定時間を最小限にしています。

CompleteEASEによる自動解析:

CompelteEASEは使いやすさを追求した特徴を備えています。測定条件、測定ポイント、解析モデルで構成されるレシピを用いることによりワンタッチでの操作が可能です。

CompleteEase Scan Pattern Editor

仕様

装置概要 二重回転光学素子型
マッピング 直径300mmマッピングステージ
波長範囲 400~1000nm
波長数 190
ディテクター CCD
データ取得時間 0.3秒 (最速)
1-2秒 (通常)
測定ビーム径 サンプル上で250×600μm
データタイプ 分光エリプソメトリー
一般化エリプソメトリー
ミューラー行列エリプソメトリー
入射角 65°固定
theta-se-ellipsometer dimensions.jpg

装置には何が付属しますか?
光源、受光部を含めた装置本体
電源
制御用PC

サンプルを保持するための真空ポンプは必要ですか?
theta-SEには、統合された真空ポンプが装備されています。

theta-SEをPCに接続するにはどうすればよいですか?
theta-SEとPCの接続には、RJ-45型LANケーブル一つとUSBケーブルを一つ使用します。

theta-SEはどのようなデータタイプを測定できますか?
分光エリプソメトリーと一般化エリプソメトリー、ミューラー行列エリプソメトリーが測定できます。

使用するソフトウェアはCompleteEASEとWVASEのどちらですか?
CompleteEASEです。

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