alpha-SE®(簡易高速分光エリプソメーター)

膜厚と屈折率のルーチン測定には、alpha-SE®が最適です。alpha-SEは「使いやすさ」を追求した分光エリプソメーターです。ステージにサンプルをセットして膜にあったモデルを選んでから測定ボタンをクリックするだけで数秒のうちに結果が得られます。

alpha-SEの特徴

簡単操作

簡単なボタン操作、高性能なソフトウェアにより慣れていない方でも安心して使用できます。

高性能

実績のある分光エリプソメトリー技術が、他の技術よりもはるかに高い精度の膜厚と光学定数を提供します。

柔軟性

誘電体・半導体・有機物などあらゆる物質を測定できます。

低コスト

高性能な分光エリプソメーターを低コストで手に入れることができます。

高速測定

数百の波長をわずか数秒で同時に収集できることにより、素早く結果が得られます。

透明膜

alpha-SEは測定スピードが速く操作性が良いため薄膜の評価に理想的です。シリコンやガラス基板上の単層誘電体膜もほんの数秒で測定できます。得られた結果は図および表形式で表されるので比較も容易です。
成膜条件が異なるSiNx膜の膜厚や光学定数の比較も素早く出来ます。

A quick comparison of nitride thin films shows variation in the thickness and refractive index with process condition.

For organic layers on golf, the phase parameter (Delta) shifts downward with increasing thickness.

自己組織化単分子膜

分光エリプソメトリー測定で得られる位相に関する情報は、極薄膜(<10nm)に対して非常に高い感度を示します。例えばグラフが示すように自己組織化単分子膜も測定後すぐに結果を比較することが可能です。

For organic layers on gold, the phase parameter (Delta) shifts downward with increasing thickness.

金基板上の有機層では位相パラメータ(Δ)が膜厚の増加とともに下方へシフトします。

吸収膜

高度なモデルが吸収を持つ様々な物質を素早くそして効率的に解析することを可能にします。

Materials

• a-Si
• poly-Si
• Diamond-like carbon
• Organic materials
• Organic LED films
• SiC

Models

• Lorentz
• Gaussian
• Harmonic
• Tauc-Lorentz
• Cody-Lorentz

ガラス上のコーティング

P私たちの特許技術によって金属や半導体、ガラスといったどのような基板上でも正確な測定が可能になりました。alpha-SEは透明基板の裏面から戻ってくる光の影響を補正するため、デポラリゼーション(偏光解消)も測定します。他のエリプソメーターの中にはこのような光に悩まされるものもありますが、alpha-SEでは正確な膜厚と光学定数を求めることができるのです。

Try Alternate Models Results

alpha-SEを用いると反射率測定では得ることのできない微細構造の詳細までも知ることが可能です。ここでは酸化ジルコニウムの薄膜が測定され、屈折率が基板と膜表面の間で変化しているのがわかります。表面ラフネスと屈折率勾配を組み合わせたモデル(緑の部分)がこのサンプルを最もよく表現しています。

仕様

装置概要 回転補償子型エリプソメーター(特許取得済)
波長範囲 380-900 nm
測定波長数 180
ディテクター CCD
入射角範囲 65°, 70°, 75° or 90° (straight-through)
データ取得時間
(Complete Spectrum)
3 sec.   – Fast mode
10 sec. – Standard mode
30 sec. – High-precision mode
基板厚さ 16mm

必要設備

電源 100 VAC, 50/60Hz, 15 A

寸法

19″
奥行 30″
高さ 36″

alpha-se-side-dimensions alpha-se-front-dimensions

溶液セル

溶液中のサンプル測定

容量:  500μL

入射角度: 70°

スライドガラスや1インチ、2インチSiウェハ―向けに設計

QCMセル

・溶液中における機械的特性の研究が可能
・QCM-Dを固定するために設計されたチルトステージ
・ウーラム社はステージのみを提供します

透過ステージ

・サンプルを光路に対して垂直に設置可能
・サンプルアライメントが簡単なチルトステージ
・サンプル吸着機構

上位機種(RC-2やM-2000シリーズ)と比較した時のalpha-SEのメリット、デメリットは?
alpha-SEはよりコンパクトかつシンプルに設計されています。上位機機種と比べると測定波長範囲が限定され一部オプションにも対応しておりません。膜厚の管理や可視光域の光学定数を求めるのには十分です。

チャンバーに取り付けてin-situで使用することは可能ですか?
alpha-SEではできません。

使用するソフトウェアはCompleteEASEとWVASEのどちらですか?
CompleteEASEです。

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