WVASE32® は、世界中で最も洗練され、かつ包括的な偏光解析ソフトウェアです。 豊富なモデルオプションに対して、他のどんなプログラムよりも高い評価を得ています。 WVASE32® は高速に動作します。このソフトウェアは、32ビットプログラミングであり C++で書かれています。データのフィッティングには最も高速かつ最も精度よい アルゴリズムを採用しています。さらに、WVASE32®は分光エリプソメトリーのデータと 透過強度データや反射強度データを同時に解析することでより精度の高い解析結果を得ることが可能です。 ( 中性子反射データ、有機膜のような極薄膜にも適しています )
Graded モデル( nとkが深さ方向でバラツキがある場合 )
表面または 界面の粗さ
膜厚の ばらつき
光学的異方性 ( 1軸と2軸 )
超格子構造
その他
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