VASEManager^TMは、操作を易しくするWVASE32のフロントエンドプログラムです。 VASEManager^TMは、研究用エリプソメーターの能力と機能を、 ユーザーフレンドリーなインターフェースであなたのために働いてくれます。 レシピにデータ収集、解析、マッピングパターンが書かれます。 これで、繰り返し測定する種類のサンプルは、エリプソメトリーに精通していなくても、 多くのユーザーが使用できます。ユーザーはプロジェクトとレシピを選び、 画面の指示に従うだけです。レシピは測定が終わると結果を表示します。 結果はプロジェクトに保存されます。

主な特徴:

測定と解析の両方を自動で行います

スキャンパターンは円か長方形が選べ、何点でも測定できます

ひとつのレシピから応用することによって、ユーザーが多様な測定を定義できます

アクセスレベルを3段階設定して、ユーザーを割り当てることができます

VASEManager^TMは、指定した期間ごとに、ユーザーにルーチンメンテナンスを促すことができます

レシピはそれぞれのフィッティングパラメータに範囲を指定することができます。VASEManager^TM は、 オペレーターの仕様に入らなかった異常な結果を知らせることができます

簡便にレポートとグラフで結果を見ることができます。 2次元や3次元のグラフィクス。結果とグラフは簡単にプリントアウトでき、 ワープロソフトや、表計算ソフトに出力することができます。