VASEは研究用に最適な分光エリプソメーターと言え
ます。

＜主な仕様＞
広い波長範囲　（193nm-2500nm）
完全に自動化された入射角制御
非接触・非破壊での物質解析

様々なタイプの材料特性を簡単に解析できます。
半導体・誘電体・重合体・金属・多層膜　など...

＜以下のデータ取得が可能です＞
反射および透過エリプソメトリーデータ
反射率と透過率の測定
一般化エリプソメトリー
　　　　（異方性・リターダンス・複屈折）
偏光解消率　（Auto Retarder®が必要です）
異方性の測定　（Auto Retarder®が必要です）
ミューラー行列
スキャッタメトリー

＜VASEオプション＞
近赤外（NIR）アップグレード
　波長範囲（240nm-1100nm）を、 さらにNIR1700nmまで拡張します。

拡張赤外域ディテクター（XNIR）アップグレード
　波長範囲（240nm-1100nm）を、さらに XNIR2200nmや、XXIR2500nmまで拡張します。

深紫外域（DUV）アップグレード
　波長範囲（240nm-1100nm）を、さらにDUV 193nmまで拡張します。

自動位相調整器Auto Retarder　（V-VASEのみ）

サンプルヒートステージ
　サンプルの縦置き・横置きどちらにも使える高温度ステージです。
　室温から300℃までと、-70°から600°まで対応可能です。

集光ビーム
　ビームを直径200ミクロンまで集光します。
　集光光学系により波長レンジは、400nmから1100nmまでの波長範囲に限られますが、取り外して
　全波長での測定が可能です。

クライオスタット
　サンプルの温度を変えて測定できます。（4.2-700ケルビン）

なぜ VASE？

最高のデータ正確性
VASEは他に類をみない、データの正確性を提供いたします。
特許取得済の自動位相調整器（Auto Retarder）を備えた回転検光子型エリプソメーター（RAE）です。

高精度の波長選択
HS-190TMモノクロメーターは、分光エリプソメーターのために特別に設計されています。スピード・波長校正・
光のスループットが最適化されており、また波長の選択およびスペクトル分解能は自動制御されます。

フレキシブルな測定
反射、透過、そして散乱といった多くの種類の測定に
対応するために、垂直型でのサンプル設置という特徴になっています。