光通信－レーザー光学素子
分光器の使用による正確な波長選択によって、光学系
の動作波長の測定が可能です。
例：1550nm, 1310nm, 980nm, 632.8nm, 589nm

光学コーティング
自動位相調整器（AutoRetarder®）により、⊿が0°
や180°近辺であっても正確に測定することができます。
これはガラスやプラスチックといった透明基板上の薄膜
評価にはとても重要です。

厚い膜　
厚い膜（＞5μm）では、Ψ／⊿の干渉振動の特徴を
捉えるために、高いスペクトル分解能力が必要です。
指定可能な分光器のステップサイズ、そして狭いバンド
幅が繊細なスペクトル形状の識別を可能にします。

（右図）この表のような厚い光学コーティングに対しては、
高い波長分解能が必要です。

感光性材料
分光器はサンプルの前に置かれているため、微弱な
単色光のみがサンプルを照射します。これにより、
感光性サンプルが曝露されるのを防いでいます。

（左図）混晶比を変化させたときのSiGeの光学定数
（下図）フォトリソグラフィー用薄膜の光学定数