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VASE®
Ellipsometer Options
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NIR アップグレード:
波長範囲 (240 to 1100nm) をさらにNIR 1700nm まで拡張します。 |
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拡張赤外域ディテクター (XNIR)アップグレード
波長範囲 (240 to 1100nm) をさらにNIR 2200nm まで拡張します。 |
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DUV アップグレード:
波長範囲 (240 to 1100nm) をさらに深いUV 193nm まで拡張します。 |
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AutoRetarder™
(V-VASE® のみ) |
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サンプルヒートステージ
サンプルの縦置き、横置きどちらにも使える高温度ステージ。温度範囲は、室温から300度まで。 |
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自動サンプルステージ:
150mm by 150mm XY (V-VASE のみ)
100mm by 100mm XY (H-VASE のみ)
200mm Rq (H-VASE のみ)
300mm Rq (H-VASE のみ)
350mm by 400mm XY (H-VASE のみ) |
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手動サンプルステージ:
45mm by 45mm XY (V-VASE のみ)
25mm by 25mm XY (H-VASE のみy)
50mm by 50mm XY (H-VASE のみ) |
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集光ビーム:
ビームを直径200ミクロンまで集光します。集光光学系により、波長レンジは、400nmから1100nmまでの波長範囲にかぎられますが、取り外して全波長での標準測定が可能です。 |
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クライオスタット:
(V-VASE® のみ)
サンプルの温度を変えて測定できます(4.2から700ケルビン) |
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