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M-2000VF
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測定波長範囲:
380nmから900nmまでの325 波長
モデルM-2000VF高速分光エリプソメーターは、スライダーヘッドの浮上量試験機で
使用する波長（380nmから900nmのどのような波長でも）
の光学定数(nとk)を測定するために特別に設計されました。
必要とする波長でのnとkの値が、簡易に測定され浮上量試験機で使用されます。
他の分光エリプソメーターと比較してのM-2000VFの利点
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集光ビーム
M-2000VFは集光ビームを用いて微小な測定点を測定できます。
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集光径が調整可能
ユーザーは、5つの集光径を選択できます(25X60 μm,
50 X120 μm, 75X180 μm, 125X300 μm, 175X420 μm)。
集光径を選択できることでユーザーは、測定範囲にあった集光径が得られ、
平均的な安定した結果を得ることができます。
AlTiC基板のそれぞれの粒径はミクロンオーダーと大きく、
そのため測定範囲内でビーム径を十分大きな範囲を測定することで多くの
粒を含んで測定することが安定した結果を得ることには重要になります。
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カメラ
スライダーの位置決めを容易に行えるためのCCDカメラが搭載されています。
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垂直入射でのアライメントシステム
スライダーヘッドのように平板でない試料のために特別なアライメントシステムが
開発されました。スライダーやバー試料さらにヘッドアッセンブリー試料などで
個々の試料で適切な傾き調整ができます。
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自動測定
データ収集と解析が自動で行えるためにエリプソメトリーの専門家でない
ユーザーでも装置を操作することができます。測定操作や必要な波長での値を
入手し浮上量シフトの計算までのユーザーガイド付のソフトウエアです。
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CCDアレイ検出の回転補償子技術
この装置は、CCDアレイ検出と回転補償子の光学構成の組合わせで実証済のM-2000技術を
基礎に設計されました。これにより高速の測定時間（最小0.1秒、通常5秒）
で高精度な測定が可能になります。このM-2000VFは、380nmから900nmまでの
波長範囲で325波長を同時に測定します。
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