J.A.Woollam社の測定解析室は、1990年以来、世界的な技術的コミュニティに貢献してきました。
弊社測定解析室には、お客様の材料の特性を正確に解析するために、弊社の最高レベルの分光エリプソ
メーターと、経験豊かな技術者がおります。お客様に、有益な測定結果をご提供いたします。

弊社では, 測定頻度の少ないお客様や機器購入に御予算のないお客様には低コストでの有償測定
サービスを行っております。
(VASE測定の評価又は機種選定に関わるサンプル測定は、基本的に無料で行なわせて頂きます)

弊社では、分光エリプソメトリーの新しい分野への開発に常に取り組んでおります。
すでに数百種類にも及ぶサンプルの測定依頼を受けており、これらの経験は弊社の基礎となっていると
考えております。
もし複雑なサンプルなどでご不明な点がございましたらお気軽に弊社のエンジニアまでお問い合わせ
下さい。

薄膜サンプル測定サービス:

• 薄膜試料の膜厚及び光学定数の測定
• バルク試料の光学定数の測定

<基板>

基板材料は、 光学定数が既知の物質が最適です。
（「Handbook of Optical Constants of Solids」E.D.Palik、 Ed.等の文献に載っている物質）

一般的には、「Si」「GaAs」等の基板、 または「石英ガラス」「BK7」等の透明基板が用いられます。
未知の基板又は仮想基板（多層構造の基板を仮想的に基板とみなすとき）の場合は、 基板のみの御提供をいただければ、それを測定いたします。

<単層構造のサンプル>

多層構造を構成する各層が、 単層で上記既知基板上にある試料の御提供を御願い致します。
この単層サンプルにより各層の光学定数を測定し、 多層サンプルの測定に使用します。
注） 以下の場合は、 この限りではありません。

　　1.　SiO2 など文献値と同じと思われる層
　　2.　AlGaAs など臨界点シフトアルゴリズムで表される層

<多層構造サンプル>

上記 1.および 2.で決定した光学定数を使用し、 多層構造サンプルの解析が可能となります。

薄膜サンプル測定のポイント：

• 193-1700 nm( 0.73-6.5 eV ) 及び2－33μｍ（333－500cm^-1） の波長範囲。
  
• Delta を 0度から360度まで測定します。
  オプションの AutoRetarderを使います。
• 12インチまでサンプル マッピングができます。更に大きいサイズも、ご相談ください。
• 小さなスポットフォーカスビームもできます。
• 低価格です。お問い合わせください。