VUV-VASE^®

最新の研究開発用エリプソメーターです。146nmから1700nmまで波長範囲においてあらゆる材料を調べることができます。短波長は薄膜への感度を増幅します。

測定能力:

• エリプソメトリーデータ ( 反射、及び、透過 )

• 透過強度 ( 偏光、無偏光 )

• 反射強度 ( 偏光、無偏光 )

• 偏光解消率

• 異方性のデータ ( s‐からp‐へ、及び、p‐からs‐への変化量 )

• ミューラー行列

• スキャッタメトリー

• 位相遅延

VASE^®

IR-VASE^®

赤外域エリプソメーターです

• 正確な 赤外域の光学定数

• 半導体のドーピングプロファイル、及び、非破壊で抵抗率が測れます

• 有機と無機の薄膜の分子の結合吸収が学べます

• 薄膜における構成要素の成分量を研究できます

• 化合物半導体へのフォノン吸収が研究できます

M-2000^®