広い波長範囲 (193nm-2500nm) を持つ、多入射角分光エリプソメーターです

革新的な回転補償子 (RCE) 技術を搭載
193nmから1700nmの間で多くの波長範囲を選べます

真空紫外から近赤外 (146nm-1700nm) までをカバーする
分光エリプソメーターです
リソグラフィーの248nm、193nm、および157nmに完璧に対応します

2から30ミクロンまでの広い波長範囲を測定し、薄膜とバルク材料の両方の
測定が行えます

薄膜の膜厚と屈折率の測定なら、コンパクトなalpha-SEがお勧めです　
従来の大掛かりな装置ではなく、可能な限り小さくまとめました　
波長範囲は370nm-900nmの180波長です

テクスチャー構造をもつ太陽電池関連のアプリケーションに適した装置です
紫外から可視光、近赤外までの範囲の数百波長での測定が可能です

ALD装置や大型パネルマッピング装置などの、さまざまな分光エリプソ
メトリーのアプリケーションに合ったOEMパートナーをご紹介いたします

弊社の測定解析室には、最高レベルの分光エリプソメーターを揃え、
経験豊なエンジニアがお客様のあらゆるサンプルを測定・解析いた
します