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VASE®
広い測定波長範囲 ( 193-2200nm ) を持つ多入射角分光エリプソメーターです。 |
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M-2000®
革新的な回転補償子(RCE)技術。193nmから1700nmの間で多くの波長範囲が選べます。. |
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VUV-VASE®
真空紫外から近赤外 ( 146nm 〜 1700nm )までカバーする分光エリプソメーターです。リソグラフィーの248nm、193nm、及び、157nmに完璧に対応します。
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IR-VASE®
2 〜 30ミクロンの赤外領域をカバーする測定波長レンジを持っています。 |
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α-SE™
今までの分光エリプソメトリーでは、膜厚と屈折率の測定でこれほど簡単に使えて低コストの装置はありませんでした。 |
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MASE™
光路変換オプティクスにより、エリプソメーターの位置が固定されていても、３つの入射角を測定。 サンプルの上空を移動するような大きな面積の面内測定に最適です。 |
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FP-M-2000™
ディスプレイ業界のために設計した全自動の M-2000®で、広範囲の面内分布測定用です。 |
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SOFTWARE
市販のソフトウェアの中で最も強力なエリプソメトリックデータの取得、解析が可能です。弊社のソフトウェアはあらゆる種類のサンプルに対応できる強力なものです。 |
