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オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

原子層堆積（ALD）装置　FlexAL^®
J.A.Woollam社は、Oxford Instruments社と協力し、最新の原子層堆積（ALD）装置を提供いたしております。近年、特に最新の半導体ICにおけるトランジスタのゲート酸化膜の作製について、ALDによる薄膜の堆積の重要性は高まっています。ALDでは基板表面を異なった種類の気相反応物質（前躯体）に交互に曝露させ、自己制御式の反応を実現し、原子層単体での成長制御を行います。まず1つめの気相前躯体Aをチャンバーに導入し、基板表面に膜を生成します。続いてこのAをチャンバーから排出し、２つめの前躯体Bを導入します。BはAの膜が生成された表面で反応し、1つの層が生成されます。これが単層のALDのサイクルです。前躯体の物質や各種条件を適切に選択することで、良質な酸化膜や窒化膜、金属膜などを生成することができます。		Woollam社のM-2000®を取り付けた Oxford Instruments社のFlexAL
エリプソメトリー測定は単層の厚みにも感度がありますので、ALDでの1サイクル、すなわち原子層単位の成長の様子を観察することができます。また、ALDに対するin-situエリプソメトリーには明らかな利点があります。エリプソメトリー測定によって得られた膜厚は、膜の成長がALDサイクル数と線型関係にあることの証明になります。また、ALDにおける膜のつき始めは、様々な基板上での核生成の様子がエリプソメトリー測定を通じて明らかになる可能性があります。前躯体の飽和曲線をプロットするのにもウェハを逐一チャンバーから取り出すことなく可能です。
Oxford Instruments社の装置、FlexALやOpALに取り付けられた弊社のM-2000を用いることで、上に述べたようなin-situエリプソメトリー測定が可能です。このM-2000はOxford Instruments社のソフトウェアであるPC2000に組み込まれた弊社のソフトウェアCompleteEASEで制御されています。横軸にALDサイクル数（原子層数）を、縦軸に膜厚や屈折率などのパラメータを設定して実時間でグラフをプロットすることもできます。装置の詳細についてはオックスフォード・インストゥルメンツ社（英国Oxford Instruments社の日本法人）にお問合せください。英国サイトhttp://www.oxford-instruments.com/　日本法人http://www.oxford-instruments.jp/