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大日本スクリーン製造株式会社

分光エリプソ式膜厚測定装置
RE-8000

RE-8000は、薄膜太陽電池パネルに対応した
自動膜厚測定装置です。
半導体で1000台以上の実績がある
ラムダエースシリーズの上位機種で、高い測定精度・再現性を有する分光エリプソメータを搭載することにより、測定範囲の拡大を実現し、
テクスチャが形成された複雑な構造でも容易に測定可能となりました。
さらに、測定膜の光学定数（屈折率・消衰係数）や多層膜測定、面荒れ解析、組成比率測定に対応する分光エリプソメーターを搭載して
います。

特長

テクスチャ構造の膜厚・光学定数（屈折率・消衰係数）を測定
複数の入射角度を利用することで、精度の高い測定が可能
プサイΨ（0°-90°）、デルタ⊿（0°-360°）に感度があります
近赤外光領域まで対応可能
受光素子にCCDを利用することで高速測定実現
X／Yステージはリニアモータを利用することで高精度・高速移動
昇降ピンによりパネルを受取り、整列機能も対応

大日本スクリーン製造株式会社　www.screen.co.jp.