光学コーティング産業では、たくさんの薄膜の特性を精度の高いエリプソメトリーで解析してきました。以下は例です。:

VASE^®

193nmから1700nmまで あらゆる波長で測定することが可能な研究に最適な多入射角分光エリプソメーターです。
測定能力:

• エリプソメトリデータ ( 反射、及び、透過 )

• 透過強度 ( 偏光、無偏光 )

• 反射強度 ( 偏光、無偏光 )

• 偏光解消率

• 異方性のデータ ( s‐からp‐、及び、p‐からs‐への変化量 )

• ミューラー行列

• スキャッタメトリー

• 位相遅延

 VUV-VASE^®

最新の研究に最適な真空紫外エリプソメーター。 146nmから1700nmまでスペクトルの範囲で材料を研究できます。 157nmのリソグラフィーのステッパー用光学部品の研究に最適です。

測定できる内容は、VASEと同じです。

M-2000^®

IR-VASE^®

2μから33μmの波長に対応した赤外域エリプソメーターです。
  

• 正確な 赤外域の光学定数
  （世界中で最も精度の高い赤外域エリプソメーター）

• 有機、そして無機の薄膜における分子の結合吸収の研究

• 薄膜における構成要素の成分量の研究

• IR領域で光学の異方性の研究

• 10.6マイクロメートルのレーザー発信波長の位相シフト

alpha-SE^TM