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弊社オーナーのジョン・ウーラムが The Industrial Physicist.
で特集記事にされました。
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The Industrial Physicist
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リンカーン市にあるネブラスカ大学のエリプソメトリー課程の教授ジョン ウーラムが1987年に彼の会社を設立した時は、
こういうことは普通ではなかった。この時からJ.A.ウーラム社は成長し、この分野で世界的なリーダーとなり40以上の
特許と35人の従業員を持つようになった。 |
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alpha-SE™
J.A.ウーラム社のエリプソメーター製品群に新しく加えられたのがalpha-SEです。この新しいエリプソメーターはSE測定を出来るだけ早くなおかつ簡単に行なえるように設計されました。alpha-SEは専用のソフトウエアで膜厚と屈折率両方を測定します。コンパクトで統合された設計で既設のパソコンへUSBで接続するため究極のテーブルトップの装置としてお使いいただけます。詳細は
ここをクリックしてください。
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MASETM: 新しいエリプソメーター台座− J.A.ウーラム社の最新のエリプソメーターMASE(Multiple Angle Spectroscopic Ellipsometer)です。MASEは光路変換オプティクスを用いてエリプソメーターが固定の位置にも関わらず
３つの入射角を測定できます。 このコンパクトな設計はサンプルの上空を移動するような大きな面積の面内測定に最適です。 この新しいエリプソメーター台座については
ここをクリックしてください。
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第２世代のVUV-VASE®
J.A.ウーラム社は実績のあるVUVエリプソメーターに新しいモデルを追加しました。この新しいエリプソメーターは300mmウエハーサンプルやフォトマスクの測定に適しています。
この新しいVUV-VASEは大きな試料の面内分布測定が可能です。 詳細は
ここをクリックして下さい。
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補償子に関する論文：
この論文では、エリプソメーターの光学構成に補償子を設置する方法と利点を述べています。
補償子の技術の再検討はエリプソメーターの動作を理解しエリプソメトリーの応用の可能性を広げるのには
大変重要です。
エリプソメーターの補償子 |
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M-2000VF
スライダーヘッド:
モデルM-2000VF高速分光エリプソメーターは、スライダーヘッドの浮上量試験機で使用する波長
（380nmから900nmのどのような波長でも）の光学定数(nとk)を測定するために特別に設計されました。
スライダーヘッド |
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New Gallery: M-2000シリーズの写真集ニューギャラリーが追加されました。
M-2000® ex-situ Gallery
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