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サンプル表面の均一性の面内分布をエリプソメトリーで測定解析したパラメーターで表示することができます。高速測定が可能なM-2000®は、面内分布測定に最適な装置です。
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面内分布測定の利用例:
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厚さの均一性の面内分布測定
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屈折率の面内分布測定。特に重要な波長における屈折率の面内分布測定 ( 193nm、248nm、1330nm、1550nmなど )
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導電性の酸化物の抵抗率の面内分布測定
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結晶性の面内分布測定
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その他
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面内分布測定の例
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自動、または手動の面内分布測定オプション
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自動制御のサンプルステージ
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1 |
100mm by 100mm XY |
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2 |
200mm R-Theta |
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3 |
300mm R-Theta |
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4 |
350mm by 400mm XY (M-2000 Flatpanel) |
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5 |
370mm by 470mm XY (M-2000 Flatpanel) |
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手動のサンプルステージ |
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1 |
25mm by 25mm XY |
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2 |
50mm by 50mm XY |
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* 移動サンプルステージは、弊社のエリプソメーター全てに利用可能です。詳細は、別途お問い合わせ下さい。
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