溶液セル 0.5ml 液体環境に対して入射角75°で測定することができる光学窓付のセルです。個液界面の研究を可能にします。液体容量はおよそ0.5mlです。
カメラ パターンウェハを正確な位置にズームします。
集光オプション 装置のモデルにより、スポットサイズ30ミクロン以下まで集光できます。（右写真）
