FPM-2000 Flat Panel

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用途紹介

FPM-2000^®Flatpanel M-2000®は、ディスプレイ産業用に特別に設計されたものです。この装置の特徴は、速い測定スピード、全自動、広いエリアでの面内分布測定です。他社の広域マッピングエリプソメーターと異なり、この装置は、あらゆる角度で測定ができます。 ( 全自動 ) 角度を変えられることは、フラットパネルディスプレイを製造する時に使われる多層膜の解析にはとても重要です。

FPM-2000 広域面内分布測定用
エリプソメーター

Product Resources:	PDF カタログ pdf-0.5MB zip-0.5MB
	ディスプレイ産業における分光エリプソメトリーについて

FPM-2000^® の主な特徴
	速い測定スピード。標準で1点につき10秒
	特許取得済の回転補償子エリプソメーター (Rotating Compensator Ellipsometer)技術
	-RCEにより、正確な"Delta"データ(Δ:0°から360°)及び"Psi"データ(Ψ:0°から90°)が取得でき、より高度な解析が可能.
	広い波長範囲:
	1. 380nmから1000nmまでの390の波長 2. 250nmから1000nmまでの470の波長 1700nmまでアップグレード可能
	自動化された入射角制御とサンプルアライメント
	自動サンプルステージ:
	350mmから400mm XY 370mmから470mm XY
	非破壊材料分析:
	-あらゆるタイプの材料の特性の解析:半導体、誘電体、ポリマー、金属、多層層、ほか

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