弊社は、リソグラフィーの薄膜解析において世界のリーダー的存在です。以下は例です。

 VUV-VASE^TM

最も強力な研究用多入射角分光エリプソメーターです。146nmから1700nmまで正確に光学定数を測定できます。全てのリソグラフィーライン ( 157nm、193nm、248nm、... ) においてノイズに強くなっています。 

測定能力:

• エリプソメトリーデータ ( 反射、及び、透過 )

• 透過強度 ( 偏光、偏光なし )

• 反射強度 ( 偏光、偏光なし )

• 偏光解消率

• 異方性のデータ ( s‐からp‐への、及び、p‐からs‐への転換量 )

• ミューラー行列

• スキャッタメトリー

• 位相遅延

VASE^®

M-2000^®

IR-VASE^®

赤外域のエリプソメトリーです。  

• 正確な赤外域での光学定数(世界中で最も精度の良い赤外域エリプソメーター)

• 有機、無機物の薄膜への分子の結合吸収の研究