なぜ IR-VASE？

非破壊評価
IR-VASEは様々な材料特性を非接触・非破壊で評価することが
できます。（薄膜の光学定数・物質組成・化学結合状態など）
測定は真空を必要としないため、バイオテクノロジーや化学の
分野で重要な固液界面の評価に使用することもできます。

ベースライン測定や参照サンプルが必要ない
エリプソメトリーは自己参照技術であるため、精度を維持する
ための参照サンプルを必要としません。
また、ビーム全体を収集する必要がないため、ビーム径よりも
小さなサンプルであっても測定が可能です。

高精度な測定
特許取得済みのキャリブレーション手順とデータ取得手法に
よって、プサイ(Ψ)とデルタ(⊿)をすべての波長範囲で正確に
測定します。
IR-VASEは1.7ミクロンから30ミクロンまでの波長範囲全体に
わたって、外挿することなく物質の ｎ と ｋ を求めることができ
ます。
また、クラマース・クローニヒの関係式に基づいた振動子モデル
により、物理的に適切な ｎ と ｋ を求めることができます。
誘電体・半導体・ポリマー・金属などの薄膜とバルク材料に
対して最適です。