IR-VASE Spectroscopic Ellipsometer

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用途紹介

赤外域-多入射角分光エリプソメーター

IR-VASE^®

半導体産業の研究用に、ポリマー解析にと様々な用途に使える優れた機器です。

赤外域-多入射角分光エリプソメータ

製品情報:	製品カタログ pdf-0.7MB zip-0.7MB
	赤外域における分光エリプソメトリーに関する論文

IR-VASE^® の主な特徴
	波長範囲: 2-33μｍ（333－500cm^-1）
	回転補償子(コンペンセーター)[Rotating compensator( RCE )]
	0度から360度までの正確な "Delta" データが取得でき高度な測定能力を持ちます。
	高精度の自動入射角制御
	光学への応用
	-2 － 30 ミクロンの赤外波長範囲での正確な光学定数(n, k) -反射の位相シフト（直接測定）
	半導体技術への応用
	-EPI-膜厚 -抵抗率の測定 -ドーピングプロファイル
	ポリマー解析
	-ポリマー解析は、FTIR 分光学と似ていますがエリプソメトリーには利点があります：超薄膜、不透明な基板、多層膜など。
	エリプソメトリーと、標準の FTIR 測定の両方で測定してみてください。

IR-VASE^® 利用可能なオプション
	追加用ディテクター標準の FTIR 反射/透過測定のための検出器
	サンプル　ヒート　ステージ温度範囲は、室温から300度まで。
	クライオスタット: -サンプルの温度を変えて測定できます(4.2から700ケルビン) -IR用ウインドウでのオプション

ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社
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