J. A. Woollam社は非接触・非破壊で薄膜やバルクを測定・解析する、分光エリプソメーターの
専門メーカーです。
分光エリプソメトリー は現在、薄膜の膜厚や光学定数を求める一般的な手法となっています。
誘電体・半導体・金属・有機膜など、さまざまな物質解析に用いられています。
私たちは真空紫外 (VUV)から赤外 (IR) までのあらゆる測定波長にあったエリプソメーターを
ご提供いたします。
また、自動サンプルステージ・温度可変 (昇温や冷却)・集光光学系・溶液セルなど、さまざま
なオプションをご用意しております。