EASE^TM

J. A.ウーラム社は、EASE (Easy-to-use Acquisition/Analysis Software for Spectroscopic Ellipsometry) という新しいIn-Situエリプソメトリーソフトウェアパッケージをリリースしました。 EASE はJ.A.ウーラム社の広範なIn-Situエリプソメトリーの経験を易しいユーザーインターフェイスにし、初心者でも複雑なデータ解析をすばやく簡単に行えるようにしています。 EASE プログラムでは光学モデルの組み立て、測定データの表示、モデルフィットをグラフィカルなインターフェイスで表示します。EASE はハードウエアもシンプルなインターフェイスで制御し、精度のよい分光エリプソメトリーデータをすばやく簡単に取得します。

ユーザーインターフェイス

EASEは、サンプルの種類に合わせて能率を良くするため、3タイプのモードが用意されています。それぞれ少しずつユーザーインターフェイスが違います。3 タイプは以下のようになっています。:

• Single Scan Mode  
  ある時間に一回分の測定および解析に使用します。  

• Dynamic Scan Mode  
  リアルタイムのエリプソメトリーデータ取得および解析に使用します。このモードは (図1参照) 光学モデルを表示し、リアルタイムで変更することができます。
  

• Simple Mode 
  リアルタイムのエリプソメトリーデータ取得、解析に使います。このモードは (図2参照)予め組み立てた光学モデルのボタンを表示できます。そしてグラフには光学モデルのフィットパラメーターをリアルタイムで表示することができます。 
  

EASE プログラムのグラフはユーザーインターフェイスの重要な構成要素です。データを表示するだけでなく、時間分割でのフィッティングや時間域を限定したバーチャルインターフェイスなど、時間域、波長領域、光学モデルが依存するパラメーターの指定などを簡単に設定できます。図１、図２はIn-Situ エリプソメトリーで得られる膨大なデータが、能率的にグラフ表示される、2つの例です。
  

図１.EASE software の "Dynamic Mode". 上側のグラフは5 波長のデータ対 時間。下側のグラフは多波長における（分光）データを表示しています。このグラフは新しい分光データを取得するたびに更新されます。 

図２．EASE software の "Simple Mode". 上側のグラフは5 波長のデータ対 時間。下側のグラフは光学モデルのフィットパラメータを表示しています。( a-Si の膜厚の例) 時間とともに変化します。Simple Mode では、ユーザーは予め作成されたモデルを選択します。エリプソメトリーの経験の少ないユーザーでも解析が可能です。

モデル

EASE には既存の解析タイプによって、多様なモデルがあります。EASE は 特定のタスクのために、WVASE32の光学モデルのようなものを分類しています。以下は、モデルの例です。
  

• Multilayer Model: WVASE32の光学モデルに似ています。ユーザーはすでに測定解析済みの層を追加することにより、光学モデルをつくります。

• Multi-Time Model: Multilayer Modelに似ています。ユーザーが時間分割を設定して、ある範囲のデータセットを解析します。

• Dynamic Optical Constant Extractor: ひとつあるいはそれ以上のIn-Situ データから、光学定数を引き出すのに使われます。高温が必要なプロセスに対する光学定数のライブラリを作り上げるよい方法です。

• Optical Constant Comparer: 分散式のパラメーターをリファレンスの物質の光学定数と比較したりするのに有効です。
  

プロセス インテグレーション

EASE ソフトウェアは薄膜の成長やエッチングの段階を制御するため、リアルタイムフィードバックを簡単に統合するようデザインされています。 EASE はある膜厚に達した時に、シャッターを閉じるような簡単な使い方もできます。プロセスをコントロールしているコンピューターにつなげば、EASE に対してデータ取得の開始および終了、特定のモデルの開始、ターゲット膜厚の設定などの信号を制御できます。これらのフィードバックは遠隔で制御することができます。このソフトウェアの通信制御構造には様々なタイプのプロセスを統合するための広範な柔軟性があります。プロセスに In-Situ エリプソメーターがどのようにつながる可能性があるか御相談ください。