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データストレージ分野のエリプソメトリー

データストレージ分野では、読み書きヘッド、そして、メディア製造に使われる薄膜の特徴解析に使われます。以下は例です。

  • Al2O3

  • DLC

  • MO materials

  • 金属

  • Ta2O5

  • a-S

  • AlN

  • スライダーの浮上量測定のためのｎとｋ

Data Storage Publications
 

M-2000®

広い測定波長範囲で高速測定。面内分布測定やin-situ測定に最適な装置です。集光ビームM-2000®は、 スライダー測定用 に特別に設計されました。詳細につきましては弊社にお問い合わせください。
   

VASE®

193nmから1700nmまでスペクトルの範囲で測定可能な研究に最適な多入射角分光エリプソメーターです。


測定能力:

  • エリプソメトリーデータ ( 反射、及び、透過 )

  • 透過強度 ( 偏光、無偏光 )

  • 反射強度 ( 偏光、無偏光 )

  • 偏光解消率

  • 異方性の解析 ( s‐からp‐、及び、p‐からs‐への変化量 )

  • ミューラー行列

  • 光散乱 

  • 位相遅延  

   
 

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