クライオスタットは、V-VASEとIR-VASEにのみ装着可能なオプションで、サンプルの温度を4.2から700ケルビンの範囲で変えて測定することができます。低温、高温の温度制御は、V-VASEのアップグレードで可能です。サンプルは、エリプソメトリーと、透過測定のための窓のついた超高真空 ( UHV ) チャンバーに取り付けます。UHV環境は、表面上での汚染物質の吸着を防ぎます。

垂直入射角の窓は、サンプルアライメントの為に使われます。液体ヘリウムがサンプルの近くまでパージされるので( コールドフィンガ設計 ) サンプルの温度を、4.2から700ケルビンまで変えられます。

低い温度でのエリプソメトリーは特徴的です。例えば、材料のバンド構造は、温度が下がるほど変化が大きくなります。下のグラフは、裸のシリコンウェハーのデータです。

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