|
|
|
光学定数や膜厚は、光学コーティングでは重要なパラメーターです。このため、分光エリプソメーターは、反射防止膜、全反射膜にまた、多層膜フィルターに利用されてきました。更に分光エリプソメトリーは、薄膜やバルクの複屈折効果を測定できます。以下は、これらの応用に関する論文です。 |
|
|
|
|
資料をご希望の方は、下記にお名前、会社又は所属機関、電話番号、ファックス番号、住所、電子メールアドレスをご記入のうえ、お問い合わせ下さい。追って資料を送付させて頂きます。
* 印は、入力必須項目です。
|
|
|
| Further optical coating
applications are discussed in the following sources: |
B. von Blanckenhagen, D. Tonova, and J. Ullman, "Application of
the Tauc-Lorentz formulation to the interband absorption of optical
coating materials", Appl. Opt.,
41
(2002) 3137-3141. |
|
|
|
