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フラットパネルディスプレイ分野の論文

分光エリプソメトリーでは、フラットパネルディスプレイに使われている薄膜の特性を知ることができます。その薄膜の特性とは、誘電体や、カラーフィルター、薄膜トランジスタ、液晶などです。以下は、フラットパネルディスプレイ技術に関する論文です。
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Display Applications

The Advantages of Spectroscopic Ellipsometry for Flat Panel Display Applications

Authors: J. N. Hilfiker and R. Synowicki

Semiconductor Fabtech, 6 (1997) 393-398.

Characterizing Thin Films in the Flat Panel Display Industry with Variable Angle Spectroscopic Ellipsometry (VASEョ)

Authors:  J. N. Hilfiker, R. Synowicki, J. S. Hale, and C. Bungay

1998 SID Intl. Symp. Technical Digest, XXIX (1998).

Spectroscopic Ellipsometry Studies of Indium Tin Oxide and Other Flat Panel Display Multilyaer Materials

Author: J. A. Woollam, W. A. McGahan, and B. Johs

Thin Solid Films, 241 (1994).

Spectroscopic Ellipsometry Characterization of Indium Tin Oxide Film Microstructure and Optical Constants

Authors: R. A. Synowicki

Thin Solid Films, 313-314 (1998) 394-397.

Generalized transmission ellipsometry for twisted biaxial dielectric media: application to chiral liquid crystals

Authors: M. Schubert, B. Rheinlander, C. Cramer, H. Schmiedel, J. A. Woollam, C. M. Herzinger and B. Johs

J. Opt. Soc. Am. A, 13 (1996) 1930-1940.

   

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