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補償子参考文献

References:

  1. R. W. Collins, Rev. Sci. Instrum. 61, 2029(1990).

  2. J.M.M. de Nijs and A. van Silfhout, J. Opt. Soc. Am. A. 5, 733 (1988).

  3. B. Drevillon, et. al., Rev. Sci. Instrum. 53, 969(1982).

  4. G.E. Jellison Jr. and F.A. Modine, Appl. Opt. 29, 959 (1990)

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  10. US#5,872,630"Regression spectroscopic rotating compensator ellipsometer system with photo array detector".

  11. R. W. Collins, et. al.,Thin Solid Films 313-314, 18(1998).

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