通信産業においては、980nm、1330nm、及び、1550nmで薄膜の正確な光学定数を求めることが注目されています。

VASE^®

M-2000^®

IR-VASE^®

測定波長2から3ミクロンの赤外域エリプソメトリーです。

• 赤外域の正確な光学定数（世界中で最も精度の良い赤外域エリプソメーター）

• 有機膜や無機膜の分子結合吸収の研究

• 薄膜の組成の成分量の研究

• 化合物半導体のフォノン吸収の研究