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化学分野における分光エリプソメトリー

化学分野においては、Kapton、テフロン、及び、PETのような配向していないポリマー基板に、Langmiur Blodgett膜、または、自立集結単層膜において見られるサブ‐ナノメーター膜など多種多様です。

 

alpha-SETM

高速で大変使い易い分光エリプソメーター。ボタン操作で膜厚と屈折率を測定します。

M-2000®

VASEと同じくらい広い波長範囲における高速測定が可能です。マッピング、及び、In-Situ アプリケーションに最適です。電気化学や溶液セルなどにこの高速分光エリプソメーターが最適です。 
   

IR-VASE®

赤外域のエリプソメトリーに最適 です。 


  • 正確な 赤外域での光学定数

  • 有機、無機物質の薄膜における分子の結合吸収の研究

  • 透過/反射強度測定よりも高感度の測定が可能 

  • 薄膜の構成要素の成分量の研究

  • 化合物半導体のフォノン吸収の研究

   

VASE®

測定波長範囲が193nmから2200nmと広範囲な最も優れた研究用エリプソメーターです。VUV-VASE®で記載された全ての測定はVASE®で可能です。

   

 VUV-VASE®

最も強力な研究用多入射角分光エリプソメーター146nmから1700nmまでの波長範囲であらゆる材料を研究できます。短い波長は、薄膜に対する感度を増加します。


測定能力:

  • エリプソメトリーデータ ( 反射、及び、透過 )
  • 透過強度 ( 偏光、無偏光 )

  • 反射強度 ( 偏光、無偏光 )

  • 偏光解消率

  • 異方性の測定 ( s‐からp‐、及び、p‐からs‐への変化量 )

  • ミューラー行列

  • 光散乱

  • 位相遅延 

   
 

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