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AutoRetarderTM  

Enlargement of the AutoRetarder
AutoRetarderTM

写真は AutoRetarderTMを装着したVASE® (入射側の黒い箱)

 

AutoRetarderTM は最も正確なデータを取得する弊社特許の測定技術です。多くのタイプのエリプソメーターは、あまり感度がないデータ領域を持っています。AutoRetarderTMを用いると、どの様なサンプルでも精度よく測定できます。.

AutoRetarderTM は、VASE®の測定に柔軟性を付加します  AutoRetarderTMはDelta(Δ:デルタ)データを0度から360度まで問題なく 測定できるようにします。これは、デルタデータが0度と180度付近をとる、入射角の選定がむずかしい、透明基板上の透明膜サンプルの測定に有効です。 

AutoRetarderTMは複合的測定が可能です。弊社の装置で、異方性サンプルや、偏光解消率測定ができます。複雑なサンプルの解析にはオートリターダを使ってより精度の高いデータを得られます。

AutoRetarderTMは入力の偏光状態を既知の偏光状態に変えます。複数の偏光状態を入射することにより、データの精度が最大となります。

 

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