α-SETM alpha-Spectroscopic Ellipsometer 薄膜の膜厚と屈折率の測定なら、コンパクトなデザインの新型、α-SETMがおすすめです。 従来の大掛かりな装置ではなく、可能な限り小さくコンパクトにまとめました。 理想的なテーブルトップの装置です。 また、コンピューターとのインターフェースにUSBを装備。取得したデータを簡単に取り込むことができます。
alpha-SETM
使いやすい...ボタン操作一つでソフトウェアを操作できます。
柔軟性...誘導体、半導体、有機物などの材料の測定に対応しています。
パワフル...確かな分光エリプソメーターの技術で単一波長のエリプソメーターでは 不確定な膜厚と、屈折率の測定が可能です。
低価格...高レベルな測定機器よりも低価格ながら、パワフルな装置です。
高速測定...１００波長を数秒で同時に測定し、すぐに解析結果が出ます。
モデルリストの中からモデルを選び、"Project"にデータを保存します。 そして"Measure"ボタンを押すだけです。 とっても簡単！
進歩したモデリング能力:
分散モデルにより、どんな材料も記述できます−Cauchy, Sellmeier, Lorentz, Guassian, Tauc-Lorentzなど・・・
屈折率の勾配
表面／界面の粗さ
alpha-SETM ソフトウェア
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