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エリプソメトリーは膜厚と光学定数ｎとｋを測定するために用いられます。
ｎとｋ両方とも物質を記述するのに必要な値で波長や温度が変化するにつれて変化する値です。
ｎはサンプルの
屈折率
を表します。この値でサンプルを伝播する光の速度と方向を得ることが出来ます。ｋは
消衰係数
を表し物質中でどれくらいの光のエネルギーが吸収されるかに関係した値です。これらの値は波長によって
変化しまた2つの値は複素屈折率で１つに表示されます。
このｎとｋの値は物質が光に対してどのように振舞うかを表します。
また光が物質に対してどのように振舞うかを同じように定義する方法があります。
これが複素誘電関数です。
e1 は電気双極子を誘発する偏光の量を表し e2はキャリアが発生することに関係する
吸収の量を表します。
これらの２つの式は同じ情報を異なった形で表しているにすぎません。
下記の式でこれら2つの形式を変換することが出来ます。
WVASE32
®
はこれらの変換は設定次第で自動的に行われます。この件の詳細な情報は
参照ページでご確認下さい。
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