エリプソメトリーは膜厚と光学定数 ｎ と ｋ を測定するために用いられます。 ｎ と ｋ 両方とも物質を記述するのに必要な値で波長や温度が変化するにつれて変化する値です。 ｎ はサンプルの 屈折率 を表します。この値でサンプルを伝播する光の速度と方向を得ることが出来ます。ｋ は 消衰係数 を表し物質中で どのくらいの光のエネルギーが吸収されるかに関係した値です。これらの値は波長によって変化しまた２つの値は複素屈折率で１つに表示されます。
この ｎ と ｋ の値は物質が光に対してどのように振舞うかを表します。 また光が物質に対してどのように振舞うかを同じように定義する方法があります。 これが複素誘電関数です。
ε1 は電気双極子を誘発する偏光の量を表し ε2 はキャリアが発生することに関係する 吸収の量を 表します。 これらの２つの式は同じ情報を異なった形で表しているにすぎません。下記の式でこれら２つの形式を変換することが出来ます。 WVASE32® はこれらの変換は設定次第で自動的に行われます。詳細な情報は 参照ページ でご確認下さい。
誘電関数から屈折率に変換する
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